对于样品表面的一些化学信息较为关注时，会采用表面分析技术，目前表面分析涉及到的仪器有扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS），X射线光电子能谱仪（XPS），俄歇电子能谱仪（AES）等。
扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）可以对样品表面形貌观察，表面元素分析，截面形貌观察，截面元素分析等，分析深度一般为微米（10-6m）级别。
X射线光电子能谱仪（XPS）和俄歇电子能谱仪（AES）可对样品进行表面元素分析，表面纵向元素分析，表面元素价态分辨，分析深度通常为纳米(10-9m)级别。
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