表面分析技术利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像，得到表面成分、表面结构、表面电子态及表面物理化学过程等信息的各种技术，统称为表面分析技术。
表面组分分析包括表面元素组成、化学态及其在表层的分布测定等。后者涉及元素在表面的横向和纵向(深度)分布。
主要检测服务有：X射线能谱分析（EDS）、聚焦离子束分析（FIB）、俄歇电子能谱分析（AES）、X射线光电子能谱分析（XPS）、动态二次离子质谱分析（D-SIMS）、飞行时间二次离子质谱分析（TOF-SIMS）。
典型图片：
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| PCB焊盘测试图片 | |
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成分分析测试谱图 |
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